Félvezető

BSLtech félvezető megoldás

A félvezetőiparban való szakértelem fejlesztéséhez gyakran magas ISO-osztályú (ISO 5 vagy magasabb) tisztaterekre vagy lamináris áramlású fülkékre van szükség. UV-érzékeny folyamatokkal foglalkozik? A BSL ebben az esetben is biztosítja a megfelelő tisztateret. A tisztaterek kiváló minőségű falburkolattal és UV-szűrős világítással rendelkeznek. Az antisztatikus (ESD) anyagok és a szűrőrendszeren található antisztatikus rudak használatával a levegő sztatikus töltése semlegesíthető.

Amikor a gáztalanítás nem kívánatos, a BSL gázmentesítő anyagokból (PU) készült tisztateret kínál. Ez a technológia a repülőgépiparból származik.

Tipikus folyamatok a félvezetőiparban:

● Hordozók és szilícium ostyák védelme
● EUV Kutatás
● Maszk igazítók
● Vákuumbevonatolás, vékonyréteg-leválasztás
● Nyomtatási alkalmazások
● Optika

Front-end és back-end folyamatok