BSLtech Semiconductor SOLUTION
Szakértelmének fejlesztése a félvezetőiparon belül gyakran magas ISO osztályú (ISO 5 vagy magasabb) tisztatereket vagy lamináris áramlású szekrényeket igényel. UV-érzékeny folyamatokkal foglalkozik? Még akkor is a BSL biztosítja a megfelelő tisztateret. A tisztaterek kiváló minőségű falburkolattal és UV-szűrős világítással rendelkeznek. Az antisztatikus (ESD) anyagok és a szűrőrendszeren lévő antisztatikus rudak használatával a levegőben lévő statikus töltés semlegesíti.
Ha a gáztalanítás nem kívánatos, a BSL tiszta teret kínál a nem gázosító anyagokból (PU). Ez a technológia a repülőgépiparból származik.
Tipikus folyamatok a félvezetőiparban:
● Aljzatok és szilícium lapkák védelme
● EUV kutatás
● Maszkbeigazítók
● Vákuumos bevonat, vékonyréteg-leválasztás
● Nyomtatási alkalmazások
● Optika
Front-end és back-end folyamatok