Másodlagos visszatérő levegő rendszer a légkondicionáló rendszerhez

A mikroelektronikai műhely viszonylag kis tisztatérrel és korlátozott sugárú visszatérő légcsatornával a légkondicionáló rendszer másodlagos visszatérő levegő rendszerét alkalmazta. Ezt a sémát is gyakran használjáktiszta szobákmás iparágakban, például a gyógyszeriparban és az orvosi ellátásban. Mivel a tiszta helyiség hőmérsékletének megfelelő páratartalom követelményeinek megfelelő szellőztetési térfogat általában sokkal kisebb, mint a tisztasági szint eléréséhez szükséges szellőztetési térfogat, ezért a befújt és a visszatérő levegő közötti hőmérsékletkülönbség kicsi. Ha az elsődleges visszatérő levegő sémát használják, akkor a befújt levegő állapotpontja és a légkondicionáló egység harmatpontja közötti hőmérsékletkülönbség nagy, másodlagos fűtésre van szükség, ami a levegőkezelési folyamatban a hideghő eltolódását és nagyobb energiafogyasztást eredményez. . Ha a másodlagos visszatérő levegő rendszert használják, a szekunder visszatérő levegő helyettesítheti a primer visszatérő levegő rendszer másodlagos fűtését. Bár a primer és a szekunder visszatérő levegő arányának beállítása valamivel kevésbé érzékeny, mint a másodlagos hő beállítása, a szekunder visszatérő levegő rendszert széles körben elismerték légkondicionáló energiatakarékossági intézkedésként a kis és közepes méretű mikroelektronikai tiszta műhelyekben. .

Vegyünk példának egy ISO 6. osztályú mikroelektronikai tiszta műhelyt, a tiszta műhely területe 1000 m2, a belmagasság 3 m. A belső kialakítási paraméterek: hőmérséklet tn= (23±1) ℃, relatív páratartalom φn=50%±5%; A tervezett levegő befúvás mennyisége 171 000 m3/h, kb. 57 h-1 légcsereidő, a frisslevegő mennyisége 25 500 m3/h (ebből a technológiai elszívott levegő mennyisége 21 000 m3/h, a többi pedig kb. pozitív nyomású szivárgó levegő mennyisége). A tiszta műhelyben az érzékelhető hőterhelés 258 kW (258 W/m2), a klíma hő/nedvesség aránya ε=35 000 kJ/kg, a helyiség visszatérő levegőjének hőmérsékletkülönbsége 4,5 ℃. Ekkor az elsődleges visszatérő levegő mennyisége
Jelenleg ez a leggyakrabban használt tisztító klímarendszer a mikroelektronikai ipar tisztaszobájában, ez a rendszertípus elsősorban három típusra osztható: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (száraz tekercs) +FFU. Mindegyiknek megvannak a maga előnyei és hátrányai és megfelelő helyei, az energiatakarékos hatás elsősorban a szűrő és a ventilátor és egyéb berendezések teljesítményétől függ.

1) AHU+FFU rendszer.

Ezt a típusú rendszermódot a mikroelektronikai iparban használják „a légkondicionálás és a tisztítási fázis szétválasztásának módjaként”. Két helyzet adódhat: az egyik az, hogy a légkondicionáló rendszer csak a friss levegővel foglalkozik, és a kezelt friss levegő viseli a tiszta helyiség teljes hő- és páraterhelését, és kiegészítő levegőként működik az elszívott levegő és a túlnyomásos szivárgás egyensúlyában. a tiszta helyiségből ezt a rendszert MAU+FFU rendszernek is nevezik; A másik, hogy a friss levegő mennyisége önmagában nem elegendő a tisztaszoba hideg- és hőterhelési szükségleteinek kielégítésére, vagy mert a friss levegőt a kültéri állapotból feldolgozzák a harmatpont fajlagos entalpiakülönbsége a szükséges gép túl nagy. , és a beltéri levegő egy része (amely a visszatérő levegővel egyenértékű) visszakerül a klímakezelő egységbe, a friss levegővel összekeverve hő- és párakezelésre, majd a levegőellátó térbe kerül. A maradék tisztatér visszatérő levegővel (ami megegyezik a másodlagos visszatérő levegővel) összekeverve belép az FFU egységbe, majd a tisztatérbe küldi. 1992 és 1994 között a cikk második szerzője együttműködött egy szingapúri céggel, és több mint 10 végzős hallgatót vezetett az amerikai-hongkongi vegyesvállalat, a SAE Electronics Factory tervezésében, amely az utóbbi típusú tisztító légkondicionálást és légkondicionálást alkalmazta. szellőztető rendszer. A projekt ISO 5. osztályú, körülbelül 6000 m2-es tisztaszobával rendelkezik (ebből 1500 m2-t a Japán Légköri Ügynökség szerződött). A légkondicionálás a tisztaszoba oldalával párhuzamosan, a külső fal mentén, csak a folyosó mellett helyezkedik el. A friss levegő, az elszívó és a visszatérő levegő csövek rövidek és simán vannak elhelyezve.

2) MAU+AHU+FFU séma.

Ez a megoldás a többszörös hőmérséklet- és páratartalomigényű, nagy hő- és páraterhelési különbségekkel rendelkező mikroelektronikai üzemekben található meg, emellett a tisztasági szint is magas. Nyáron a friss levegőt lehűtik és páramentesítik egy rögzített paraméterpontig. A friss levegőt általában az izometrikus entalpiavonal és a 95%-os relatív páratartalom vonal metszéspontjáig célszerű kezelni a reprezentatív hőmérséklettel és páratartalommal rendelkező tisztaszoba vagy a legnagyobb frisslevegő-térfogatú tisztatérben. A MAU levegőmennyiségét az egyes tiszta helyiségek levegő-utánpótlási szükségletei szerint határozzák meg, és a szükséges frisslevegő-mennyiségnek megfelelően csövekkel osztják el minden tisztahelyiség légkezelőjében, és keverik némi beltéri visszatérő levegővel melegítés céljából. és nedvességkezelés. Ez az egység viseli az általa kiszolgált tisztaszoba teljes hő- és páraterhelését, valamint az új reumaterhelés egy részét. Az egyes légkezelők által kezelt levegőt minden tiszta helyiségben a befúvó légtérbe juttatják, majd a beltéri visszatérő levegővel való másodlagos keveredés után az FFU egység a helyiségbe juttatja.

A MAU+AHU+FFU megoldás legfőbb előnye, hogy a tisztaság és a pozitív nyomás biztosítása mellett biztosítja az egyes tisztatéri folyamatok előállításához szükséges eltérő hőmérsékletet és relatív páratartalmat is. Azonban gyakran a felállított légkezelők száma miatt a helyiség nagy területet foglal el, a tiszta helyiség friss levegője, visszatérő levegője, a levegőellátó csővezetékek keresztben keresztezik, nagy helyet foglalnak el, az elrendezés problémásabb, a karbantartás és kezelés nehezebb és összetett, ezért amennyire csak lehetséges, nincsenek különleges követelmények a használat elkerülése érdekében.