A relatív páratartalom célértéke félvezető (FAB) tisztatérben

A félvezető (FAB) tisztatérben a relatív páratartalom célértéke körülbelül 30-50%, ami szűk ±1%-os hibahatárt tesz lehetővé, például a litográfiai zónában – vagy még ennél is kevesebbet a távoli ultraibolya feldolgozásnál (DUV). zóna – míg máshol ±5%-ra lazítható.
Mivel a relatív páratartalomnak számos olyan tényezője van, amelyek csökkenthetik a tiszta helyiségek általános teljesítményét, többek között:
1. Baktériumok szaporodása;
2. Szobahőmérséklet komfort tartomány a személyzet számára;
3. Elektrosztatikus töltés jelenik meg;
4. Fémkorrózió;
5. Vízgőz kondenzáció;
6. A litográfia leromlása;
7. Vízfelvétel.

A baktériumok és más biológiai szennyeződések (penészgombák, vírusok, gombák, atkák) szaporodhatnak olyan környezetben, ahol a relatív páratartalom meghaladja a 60%-ot. Egyes baktériumközösségek 30%-ot meghaladó relatív páratartalom mellett is növekedhetnek. A vállalat úgy véli, hogy a páratartalmat 40% és 60% között kell szabályozni, ami minimálisra csökkentheti a baktériumok és a légúti fertőzések hatását.

A 40% és 60% közötti relatív páratartalom szintén mérsékelt tartomány az emberi kényelem szempontjából. A túl sok páratartalom fülledtséget, míg a 30% alatti páratartalom kiszáradást, kirepedezett bőrt, légzési kényelmetlenséget és érzelmi boldogtalanságot okozhat.

A magas páratartalom valójában csökkenti az elektrosztatikus töltések felhalmozódását a tisztatér felületén – ez a kívánt eredmény. Az alacsony páratartalom ideális a töltések felhalmozásához és potenciálisan káros elektrosztatikus kisülési forráshoz. Ha a relatív páratartalom meghaladja az 50%-ot, az elektrosztatikus töltések gyorsan disszipálni kezdenek, de 30% alatti relatív páratartalom esetén hosszú ideig fennmaradhatnak szigetelőn vagy földeletlen felületen.

A 35% és 40% közötti relatív páratartalom kielégítő kompromisszumként használható, és a félvezető tisztaterek általában kiegészítő vezérlőket használnak az elektrosztatikus töltések felhalmozódásának korlátozására.

Számos kémiai reakció sebessége, beleértve a korróziós folyamatokat is, a relatív páratartalom növekedésével nő. A tiszta helyiség körül minden levegőnek kitett felület gyors.