A relatív páratartalom célértéke egy félvezető (FAB) tisztaszobában

Egy félvezető (FAB) tisztaszobában a relatív páratartalom célértéke körülbelül 30-50%, ami szűk, ±1%-os hibahatárt tesz lehetővé, például a litográfiai zónában – vagy még kisebbet a távoli ultraibolya feldolgozási (DUV) zónában –, míg máshol ez ±5%-ra enyhíthető.
Mivel a relatív páratartalomnak számos olyan tényezője van, amelyek csökkenthetik a tiszta helyiségek teljesítményét, beleértve:
1. Bakteriális növekedés;
2. A személyzet számára komfortos szobahőmérséklet-tartomány;
3. Elektrosztatikus töltés jelenik meg;
4. Fémkorrózió;
5. Vízgőz kondenzációja;
6. A litográfia lebomlása;
7. Vízfelvétel.

A baktériumok és más biológiai szennyező anyagok (penészgombák, vírusok, gombák, atkák) képesek szaporodni a 60%-nál magasabb relatív páratartalmú környezetben. Egyes baktériumközösségek 30%-nál magasabb relatív páratartalom mellett is elszaporodhatnak. A vállalat úgy véli, hogy a páratartalmat 40% és 60% között kell szabályozni, ami minimalizálhatja a baktériumok és a légúti fertőzések hatását.

A 40% és 60% közötti relatív páratartalom szintén mérsékelt tartomány az emberi komfort szempontjából. A túl magas páratartalom fülledtséget okozhat, míg a 30% alatti páratartalom szárazságot, repedezett bőrt, légzési nehézségeket és érzelmi boldogtalanságot okozhat.

A magas páratartalom valójában csökkenti az elektrosztatikus töltések felhalmozódását a tisztatér felületén – ami egy kívánatos eredmény. Az alacsony páratartalom ideális a töltések felhalmozódásához, és potenciálisan káros elektrosztatikus kisülési forrás. Amikor a relatív páratartalom meghaladja az 50%-ot, az elektrosztatikus töltések gyorsan elkezdenek eloszlani, de ha a relatív páratartalom 30% alatt van, hosszú ideig fennmaradhatnak egy szigetelőn vagy egy földeletlen felületen.

A 35% és 40% közötti relatív páratartalom kielégítő kompromisszumként használható, és a félvezető tisztaszobákban általában további szabályozásokat alkalmaznak az elektrosztatikus töltések felhalmozódásának korlátozására.

Számos kémiai reakció, beleértve a korróziós folyamatokat is, sebessége növekszik a relatív páratartalom növekedésével. A tisztaszoba körüli levegőnek kitett összes felület gyors.